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中國船舶集團旗下七一八所所屬派瑞特氣公司，近日榮獲中國工業氣體工業協會評選的“十三五”中國氣體行業分行業電子氣體10強、“十三五”中國氣體行業50強企業榮譽稱號，以及2021年氣體行業專利獎金獎。
助力戰略性新興產業發展
高純特種電子氣體是整個電子工業體系的關鍵材料之一，主要應用于電子信息產業中集成電路制造、液晶顯示器、太陽能電池等領域的芯片制程、化學氣相沉積、刻蝕、摻雜和清洗等。
“十三五”期間，派瑞特氣公司以“服務國家戰略”為己任，以研究、開發和生產特種電子氣體為主導，攻克了多項關鍵工藝技術，生產的29種電子特氣新材料產品廣泛應用于電子信息領域，其中三氟化氮、六氟化鎢國內市場覆蓋率達到95%上，擁有授權發明專利43項，申請發明專利150余項，填補了國內多項技術空白，有力保障國家戰略性新興產業安全。
創新驅動突破關鍵技術壁壘
這次榮獲2021年氣體行業專利獎金獎的是派瑞特氣公司的發明專利“一種制備氟化氫的方法及裝置”。
該專利技術突破了高純氟化氫制備的關鍵技術難題，解決了傳統方法制備氟化氫含有大量難分離雜質的問題，能夠高效合成高純度氟化氫原料，同時可制備純度大于99.999%的高純氟化氫，一舉打破國外技術壟斷。
此次獲獎，是派瑞特氣公司繼2020年“一種制備三氟化氮氣體的裝置及應用”專利獲評發明專利金獎后，連續第2年獲得該項榮譽。
中國工業氣體工業協會是中國氣體行業唯一具有權威性的行業組織。
| 來 源：七一八所
| 責 編：鄺展婷
| 校 對：王 琦
| 審 核：項 麗/甘豐錄
