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中國(guó)船舶集團(tuán)旗下七一八所所屬派瑞特氣公司,近日榮獲中國(guó)工業(yè)氣體工業(yè)協(xié)會(huì)評(píng)選的“十三五”中國(guó)氣體行業(yè)分行業(yè)電子氣體10強(qiáng)、“十三五”中國(guó)氣體行業(yè)50強(qiáng)企業(yè)榮譽(yù)稱(chēng)號(hào),以及2021年氣體行業(yè)專(zhuān)利獎(jiǎng)金獎(jiǎng)。
助力戰(zhàn)略性新興產(chǎn)業(yè)發(fā)展
高純特種電子氣體是整個(gè)電子工業(yè)體系的關(guān)鍵材料之一,主要應(yīng)用于電子信息產(chǎn)業(yè)中集成電路制造、液晶顯示器、太陽(yáng)能電池等領(lǐng)域的芯片制程、化學(xué)氣相沉積、刻蝕、摻雜和清洗等。
“十三五”期間,派瑞特氣公司以“服務(wù)國(guó)家戰(zhàn)略”為己任,以研究、開(kāi)發(fā)和生產(chǎn)特種電子氣體為主導(dǎo),攻克了多項(xiàng)關(guān)鍵工藝技術(shù),生產(chǎn)的29種電子特氣新材料產(chǎn)品廣泛應(yīng)用于電子信息領(lǐng)域,其中三氟化氮、六氟化鎢國(guó)內(nèi)市場(chǎng)覆蓋率達(dá)到95%上,擁有授權(quán)發(fā)明專(zhuān)利43項(xiàng),申請(qǐng)發(fā)明專(zhuān)利150余項(xiàng),填補(bǔ)了國(guó)內(nèi)多項(xiàng)技術(shù)空白,有力保障國(guó)家戰(zhàn)略性新興產(chǎn)業(yè)安全。
創(chuàng)新驅(qū)動(dòng)突破關(guān)鍵技術(shù)壁壘
這次榮獲2021年氣體行業(yè)專(zhuān)利獎(jiǎng)金獎(jiǎng)的是派瑞特氣公司的發(fā)明專(zhuān)利“一種制備氟化氫的方法及裝置”。
該專(zhuān)利技術(shù)突破了高純氟化氫制備的關(guān)鍵技術(shù)難題,解決了傳統(tǒng)方法制備氟化氫含有大量難分離雜質(zhì)的問(wèn)題,能夠高效合成高純度氟化氫原料,同時(shí)可制備純度大于99.999%的高純氟化氫,一舉打破國(guó)外技術(shù)壟斷。
此次獲獎(jiǎng),是派瑞特氣公司繼2020年“一種制備三氟化氮?dú)怏w的裝置及應(yīng)用”專(zhuān)利獲評(píng)發(fā)明專(zhuān)利金獎(jiǎng)后,連續(xù)第2年獲得該項(xiàng)榮譽(yù)。
中國(guó)工業(yè)氣體工業(yè)協(xié)會(huì)是中國(guó)氣體行業(yè)唯一具有權(quán)威性的行業(yè)組織。
| 來(lái) 源:七一八所
| 責(zé) 編:鄺展婷
| 校 對(duì):王 琦
| 審 核:項(xiàng) 麗/甘豐錄